ロボットアームとは？ 種類と選定基準、おすすめのメーカーをご紹介

近年、ロボットアームを導入する企業が増加しています。その背景には労働力不足や労働環境の改善、生産性向上や品質管理・向上が挙げられます。

確かに、ロボットアームを導入するとコスト削減につながったり品質の安定、作業工程の柔軟性や安全性が向上します。しかし、導入にあたって必要な項目を検討しておかないと、想定通りの目的を達成することができません。

今回の記事では、ロボットアームとは何か、その種類や導入のメリット・デメリット、比較項目とおすすめのメーカー企業をご紹介します。

また、JET-Roboticsでは実際に、ロボットアームの導入支援も行っております。

ロボットの専門家による製品の選定から補助金の活用、ロボット研修による社内人材の育成まで、ロボットアーム導入をあらゆる面からサポートいたします。

「一度ロボットを触ってみたい」や「こんな自動化ができるか知りたい」などの軽い相談も可能です。

相談は無料ですので、関心のある方は以下のサービス詳細をご覧ください。

監修者プロフィール

永井伸幸（ながい のぶゆき）

ヒューマテックジャパン株式会社　代表取締役

• 1998年～2023年 株式会社バイナス　にてロボットインテグレーター、およびロボット教材の開発、販売を行う
• 2024年 ヒューマテックジャパン株式会社　設立

日本ロボットシステムインテグレータ協会のインストラクター代表として、産業用ロボット技術の普及に尽力している。
愛知県の産業用ロボット活用アドバイザーとして、製造現場におけるロボット技術の導入や最適化を支援し、産業用ロボット特別教育インストラクターとして、次世代の技術者育成に注力。これまでに100名以上の技術者に指導を行った。
職業訓練指導員（電気系）としての経験と、1級電気機器組立（シーケンス制御）技能士としての高度な専門知識を活かし、日本の製造業界における「Japan Quality」のさらなる向上に寄与している。

5種類のロボットアームとその特徴

ロボットアームは、人間の腕のように動き、様々な作業を行うことができる機械です。

一般的には、6軸のロボットアームが多く使われており、3次元空間内での位置と姿勢の制御が可能で、以下のような業界で活躍しています。

特に製造業では、溶接、塗装、組み立てなどの作業に使われ、労働者の負担を軽減し、生産性の向上に貢献しています。

また、近年では「協働ロボット」と呼ばれる、人間と協力して作業を行うロボットアームも登場しました。協調ロボットは安全性が高く、人間の作業者と同じ空間で作業を行うことができるため、より柔軟な生産ラインの構築が可能です。

ロボットアームには、以下の5種類が挙げられます。

垂直多関節ロボット

垂直多関節ロボットは、人間の腕に似た構造を持ち、複数の関節があります。これにより、立体的で自由度の高い動きが可能です。主に6軸のものが一般的で、手先の位置と姿勢を広範囲にわたって制御できます。

このロボットの強みは、以下の通りです。

これらのメリットにより、省力化、省人化を実現し、生産性の向上や品質が安定します。

垂直多関節ロボットは自由度が高く複雑な作業に適している一方で、高速での動作は苦手であることは理解しておく必要があります。

この種類のロボットアームは、以下のような業界で活躍しています。

JET-Roboticsでは垂直多関節ロボットについて詳しく解説した記事もあります。ぜひご一読ください。

垂直多関節ロボットとは？　おすすめメーカーの比較や製品の選び方を紹介

水平多関節ロボット（スカラロボット）

水平多関節ロボットは、平面内での3方向の自由度の位置決めと、先端部の上下運動による4軸構成を持つ産業ロボットです。水平方向への特化した動きと、先端部が上下に動くことが特徴で、組立や基盤への部品配置などの作業に適しています。

このロボットは他の産業ロボットと比べてコストが低いにもかかわらず、以下のような強みがあります。

高速で精密な水平方向の作業に適しており、組立やピックアンドプレース作業などを含む、以下の業界で使用されています。

スカラロボットについては以下の記事で更に詳しく紹介しています。

スカラロボットとは？　おすすめメーカーや価格帯、メリット・デメリットをご紹介

パラレルリンクロボット

パラレルリンクロボットは、複数のリンクが並列に配置され、それぞれがモーターで駆動されることで、先端部分の動きを高速かつ高精度で制御する産業用ロボットです。

天井から吊り下げる形で設置され、ピッキング作業や組み立て作業に適しています。

このロボットの強みは、以下の通りです。

パラレルリンクロボットは、高速で精密な作業に適している一方で、可搬重量や作業範囲が限定されているため、以下のような業界で小型・軽量の製品を扱う場合に最適です。

パラレルリンクロボットについて詳しく知りたい方は、以下の記事をご参照ください。

パラレルリンクロボットとは？　構造やメリット・デメリット、おすすめメーカーを解説

直角座標ロボット

直角座標ロボットは、3方向に自由度のある産業ロボットの一種です。直線的な動きのみを行うこのロボットは、直交型ロボット、ガントリーロボットとも呼ばれます。縦、横、高さの3方向に直交する動きを実現し、「搬送」や「検査」といった作業に活用されています。

直角座標ロボットは、スライド機構を利用して3方向に往復運動を行います。このロボットの特徴は多岐にわたります。まず、直線的な動きのみを行うため、高い再現性と精度を維持することができます。また、設置場所に応じて縦・横・高さの動きを調整できるため、柔軟な配置が可能です。

直角座標ロボットは搬送、検査、組立など、多岐にわたる作業に対応でき、以下のような用途で使われることが多いです。

直角座標ロボットについて、以下の記事で詳細を解説しています。

直角座標型ロボットとは？　おすすめメーカーやメリット・デメリットを解説

極座標ロボット

極座標ロボットは、産業ロボットの中でも初期に開発されたタイプで、中心に旋回軸があり、アームは上下回転と伸縮できることが特徴です。

この構造により、広い作業領域を確保できますが、アームの先端の姿勢が変化するため、制御は複雑になるというデメリットもあります。

極座標ロボットは、伸縮するアームとふたつの回転ジョイントを持ち、作業範囲が広いです。そのため、特に半導体や液晶パネルの運搬など、以下の業界における比較的単純な作業で活躍します。

極座標ロボットについて詳しくは以下の記事をご参照ください。

極座標ロボットとは？　おすすめメーカーや用途、メリットを解説

協働ロボットとして活用されるロボットアーム

ロボットアームは、産業用ロボットにだけではなく、協働ロボットにも活用されています。

協働ロボット（Cobot）は、人と同じ作業空間で安全に共働するよう設計されたロボットです。小型で軽量な構造が特徴であるほか、リスクアセスメントを行う事で、安全柵が不要です。そのため、産業用ロボットとは違い、人間の作業者と直接協力して作業を行うことができます。

この種類のロボットの特徴は、以下の通りです。

人間と協力して作業を行う環境に適しており、特に以下の業界において、多品種少量生産の自動化に適しています。

協働ロボットについては以下の記事で更に詳しく紹介しています。

協働ロボットメーカーを比較！　世界シェアランキングや中国メーカーも紹介

ロボットアームとは？ 仕組みを解説

ロボットアームは、主に「ジョイント」、「リンク」、「エンドエフェクタ」という三つの主要部分から構成されています。

ジョイントは、人間の関節に相当し、ロボットアームの可動部分である。これにより、アームは様々な方向に動かすことができる。ジョイントの数が多いほど、アームはより柔軟に動くことが可能。

リンクは、ジョイント間を結ぶ固定部分で、人間の骨に似ており、アームの形状を決定し、動力を伝達する役割を持っている。

エンドエフェクタは、アームの先端に取り付けられる部分で、具体的な作業を行うための工具やセンサーなどが装着される。これにより、ロボットアームは塗装、溶接、組み立てなど、様々な作業を実行できる。

ロボットアームの動作は、電気モーター、油圧、または空気圧によって動くアクチュエータによって制御され、アクチュエータはジョイントの可動をサポートします。

アクチュエータは、速度を落とし、必要なトルクを増加させるために使用される減速機や、ジョイントの位置や動きを正確に測定するエンコーダなど、多くの部品によって構成されています。

ロボットアームを活用するメリット・デメリット

ロボットアームを導入することで作業の効率化やコスト削減などのメリットがあります。その一方で、デメリットもゼロではないので、デメリットを理解した上でリスクを回避する必要があります。

メリット

ロボットアームを導入するメリットには、以下のメリットがあります。

精密性の向上

ロボットアームを導入することにより、作業の精密性が大幅に向上します。精密性とは、繰り返し同じ動作を行う際の位置決め精度や動作の一貫性のことを指します。ロボットアームはプログラム通りに正確に動作するため、非常に高い精度で作業を行うことができます。

精密性が上がると製造するプロダクトの品質が向上したり不良品率が下がったりします。その上、一貫した作業品質を実現できるので、高効率でありながら高品質なプロダクト製造が可能です。

作業の効率化

ロボットアームを導入することで、作業の効率化が大幅に進みます。ここで言う作業の効率化とは、単位時間あたりの生産量を増加させることや、作業のスピードと正確性を向上させることを指します。

ロボットアームは24時間稼働可能で、人間の限界を超えた作業を実行できるため、全体的な生産プロセスのスピードと効率が向上します。

24時間365日間稼働できるため、必要以上の人件費を削れる他、人間ではなし得ない一貫性の高い作業が可能です。また、プログラムを改変すれば柔軟に作業プロセスを更新できます。

高い安全性

ロボットアームを導入することで、作業現場の安全性が大幅に向上します。安全性の向上とは、労働災害や事故のリスクを減少させ、作業員の健康と安全を守ることを指します。ロボットアームは危険な作業や重労働を代替するため、人間の作業環境をより安全に保つことができます。

ロボットがあれば労働時間を削減できるため、従業員の疲労やストレスを軽減できます。そのため労働災害を回避し、不良品の発生率を下げることができます。

従業員の安全を守れる上、事業運営に必要な安定した製造と供給を実現してくれます。

デメリット

一方で、ロボットアームには以下のデメリットもあるので、念頭に入れておく必要があります。

初期コストがかかること

ロボットアームを導入する際のデメリットとして、初期コストが高いことが挙げられます。初期コストには、ロボットアーム本体の購入費用、導入に伴う設置工事費用、システムのインテグレーション費用、さらに初期のトレーニング費用などが含まれます。これらの費用は一度に大きな出費となるため、特に中小企業にとっては導入のハードルとなります。

このデメリットを軽減するのであれば、以下のような手段も検討してみることがおすすめです。

システムが複雑な場合があること

ロボットアームを導入する際のデメリットとして、システムが複雑であることが挙げられます。ロボットアームは高度な技術を駆使して動作するため、その導入には専門的な知識と技術が必要です。また、システムのインテグレーションやプログラミング、運用・メンテナンスには高い技術力と時間が求められます。この複雑さが、導入や運用の障壁となることがあります。

このデメリットを軽減するのであれば、以下のような手段も検討してみることがおすすめです。

自由度を決めるのが難しいこと

ロボットアームを導入する際、どの程度の自由度（DOF: Degrees of
Freedom）が必要かを決定するのは難しい課題です。自由度とは、ロボットアームが動作できる方向や軸の数を指します。自由度が高ければ高いほど複雑な動作が可能になりますが、その分、コストや制御の難易度も増加します。適切な自由度を選定しなければ、過剰なコストを負担することになったり、逆に必要な動作が実現できなかったりするリスクがあります。

このデメリットを軽減するのであれば、以下のような手段も検討してみることがおすすめです。

5つの選定基準 | ロボットアームの選び方

最適なロボットを選ぶには、以下の5つの項目を検討する必要があります。

可動範囲

可動範囲とはロボットのアームが届く範囲であり、これによりロボットが指定された作業エリア内で効果的に動作し、さまざまな仕事を遂行することが可能になります。

可動範囲が広いロボットアームと狭いロボットアームの一般的な可動域は、以下の通りです。

可動範囲が広いほど、ロボットアームはより広いエリアで作業が可能になります。また、可動範囲が広いロボットアームは、より複雑な動作や、障害物を避けながらの作業が可能です。

このようなロボットのメリットは、三次元的な動作や複雑な作業が可能になることです。多軸のロボットアームは、異なる方向や位置での作業を同時に行うことができ、作業効率が向上します。これらの特徴は、特に以下のような用途で活躍します。

逆に、可動範囲が狭い場合のメリットは、軸数が少なくて、比較的安価で導入が容易になることです。また、プログラミングや操作がシンプルになり、使いやすくなります。

可動範囲が狭い場合、以下のように活用されることが多いです。

可搬重量

可搬重量とは、ロボットアームが安全に持ち上げて動作させることができる最大の重さを指します。この数値が変動すると、ロボットアームの使用可能なアプリケーションや性能が変動します。

可搬重量が重い場合のメリットは、より重い物体を扱うことができることです。これにより、大型の部品や製品の取り扱いが可能になる。また、重量のあるツールやアタッチメントを使用する作業にも対応可能です。そのため、以下のような用途で活用されることが多いです。

逆に、可搬重量が軽い場合は、より小型でスペースを節約できる設計になっていることが多く、設置や移動が容易です。また、軽量なため、動作が速く、生産ラインでのサイクルタイムを短縮できる可能性があります。

このようなロボットアームは、以下のような場面で活用されることが多いです。

動作速度

動作速度が速いほど、一般的に生産ラインの効率が向上します。逆に動作速度が速すぎると、停止時に振動が残り、精度が低下する可能性があります。

動作速度が速いロボットは、2〜5 m/s（メートル毎秒）程度で動く場合が多いです。この速度で動くロボットのメリットは、高速動作により、サイクルタイムが短縮され、生産効率が向上することです。

主に、以下のような用途で活用されることが多いです。

逆に、動作速度が遅い場合は0.1〜1 m/s（メートル毎秒）で動くことが多いです。これらのロボットは精密作業に適しており、振動が少なくなるため、精度が高い傾向にあります。

主に、以下のような用途で活用されることが多いです。

精度

精度の変動は、ロボットアームの適用範囲や作業の効率、最終製品の品質に大きく影響を与えます。使用目的に応じて適切な精度のロボットアームを選定することが重要です。

精度が高い場合のメリットは、繊細な作業や複雑なタスクを正確に実行できることです。これにより、製品の品質が一定に保たれ、不良品の発生率が低下します。

また、同じ作業を何度も正確に繰り返すことができるため、一貫した結果が得られます。

逆に、精度が低いロボットは、ロボット自体の製造コストが低く、導入コストを抑えることができます。また、複雑な機能が不要なため、構造がシンプルになり、メンテナンスが容易になります。

価格

ロボットアームを選定する際には、価格も考慮する必要があります。

一般的には、価格が上がればその分ロボットの性能や機能、ブランド、サポート体制などによって大きく異なります。価格は初期投資額に直結し、企業の予算に直接影響を与えるため、慎重に検討する必要があります。

とはいえ、目的に対して必要以上の機能やサービスがあっても、無駄な投資になります。

目的に対して必要十分な機能やサービスに対して十分な投資を行うことがおすすめです。

ロボットアームを製造するおすすめの会社

ロボットアームを製造する代表的なメーカーには、以下のものが挙げられます。

【メーカー】
■垂直多関節ロボットのメーカー
• 三菱電機 / Mitsubishi Electric
• 芝浦機械 / SHIBAURA MACHINE
• 川崎重工業 / Kawasaki Heavy Industries
• デンソーウェーブ / DENSO WAVE

■水平多関節ロボット（スカラロボット）のメーカー

• 三菱電機 / Mitsubishi Electric
• 芝浦機械 / SHIBAURA MACHINE
• セイコーエプソン / Seiko Epson
• デンソーウェーブ / DENSO WAVE
• イグス / igus
• アイエイアイ / IAI
• ジャノメ / JANOME
• オムロン / OMRON
• 川崎重工 / Kawasaki Heavy Industries

■パラレルリンクロボットのメーカー

• パナソニック / Panasonic
• 安川電機 / YASKAWA Electric

■直角座標ロボットのメーカー

• ティーエイチケー / THK
• 平田機工 / Hirata
• ニデックインスツルメンツ / Nidec Instruments

■極座標ロボットのメーカー

• ローツェ / Rorze
• 平田機工 / Hirata
• タツモ / Tazmo

※クリックで各メーカーの詳細に飛べます。

JET-Roboticsでは、ロボットアームを活用した工場の自動化支援も行っております。

ロボットの導入成功まで専門家がサポートいたします。相談は無料ですので、ぜひ以下よりサービス詳細をご覧ください。

垂直多関節ロボットのメーカー

三菱電機 / MITSUBISHI ELECTRIC

三菱電機は「Changes for the Better」というコミットメントを掲げ、常により良いものをめざし、変革していくことをモットーに、たゆまぬ技術革新と限りない創造力により、活力とゆとりある社会の実現に貢献しています。FA製品についてはコントローラから駆動制御機器、配電制御機器、産業メカトロニクスまで幅広くラインナップしており、お客様のものづくりをサポートします。

垂直多関節ロボットとしては「MELFA FR Series」と「MELFA CR Series」を展開しています。FRシリーズは、高速高精度のハイエンドモデルで、クリーン仕様（ISOクラス3）・オイルミスト仕様（IP67）がラインナップされているほか、汎用シーケンサ「MELSEC iQ-Rシリーズ」との連携も可能で、より高度な作業を実現します。特に半導体や電気電子といった、速度と精度が求められる高難易度作業を実施したいお客様に適しています。

CRシリーズは実用性を追求したお求めやすいシリーズで、IP65適合の防水・防塵性能を備えているほか、バッテリレスモータ搭載によりメンテナンス性を向上しています。搬送、ロード・アンロード等の基本作業に適しています。

芝浦機械 / SHIBAURA MACHINE

芝浦機械は、工作機械・射出成形機などの製品から培った制御・設計技術と、工場のサイズや用途に最適なロボットを選択できる、豊富なラインナップを強みとする産業用ロボットメーカーです。

同社の産業用ロボット「TVM900」は最大20kgの重可搬高イナーシャと本体の軽量化の両立を実現しつつ、工程自動化のニーズに対応し、機能豊富なコントローラおよびプログラミング支援ソフトウェアと合わせて自動化、省力化、効率化に貢献します。

ばら積みされた部品をピッキングし、組立、検査、搬送工程を自動化した自動車部品組立装置や、射出成形機からの部品の取出し、後工程の搬送や箱詰めを自動化するなどの用途にも採用された実績があります。

川崎重工業 / Kawasaki Heavy Industries

川崎重工業は、各部門の技術を統合して新たな価値を創出する能力に強みを持っており、幅広い分野でその技術力を発揮しています。

川崎重工業の垂直多関節ロボット「MXPシリーズ」は、高い動作性能と広い動作範囲を備えています。また、軽量化と最新の制振制御により、他メーカーと比較して高速かつ安定した動作を実現している点が特徴です。

この「MXPシリーズ」も、食品・飲料、電機・電子、航空宇宙、物流、機械・金属加工などの多様な業界で導入されています。

デンソーウェーブ / DENSO WAVE

デンソーウェーブは、QRコードの開発を手掛けた先進技術力を有する点で業界から高い評価を得ています。

デンソーウェーブが提供する垂直多関節ロボットには、「VMシリーズ」と「VLシリーズ」です。これらは、他社製品と比較して高い防塵防滴性を誇ります。また、多様なセンサーやデバイスを装着できる柔軟性も兼ね備えています。

「VMシリーズ」および「VLシリーズ」は、搬送、組立、包装、検査などの様々な作業に活用されています。

水平多関節ロボット（スカラロボット）のメーカー

三菱電機 / MITSUBISHI ELECTRIC

スカラロボットは「MELFA FRシリーズ」と「MELFA CRシリーズ」を展開しています。FRシリーズは、高速高精度のハイエンドモデルで、クリーン仕様（ISOクラス3）・オイルミスト仕様（IP65）・天吊仕様がラインナップされているほか、汎用シーケンサ「MELSEC iQ-Rシリーズ」との連携も可能で、特に電気電子や自動車部品といった、速度と精度が求められる高難易度作業に適しています。

CRシリーズは、実用性を追求したお求めやすいシリーズです。コンパクトでシンプルな構造により軽量化されており、自動化セルや製造装置への組込みに適しているほか、メンテナンス性が向上したバッテリレスモータ機種もラインナップしています。搬送、ロード・アンロード等の基本作業を実施したいお客様に適しています。

芝浦機械 / SHIBAURA MACHINE

同社の産業用ロボット「THE600」は標準サイクルタイム0.3秒台の高速動作と正確な移動軌跡を両立し、精密さを求められる電子機器や自動車部品の組立や検査工程に最適な点が特徴です。

同製品は、電機・電子、自動車、成形品、食品、物流など幅広い業界で、組立、搬送、検査、梱包、パレタイズなどの工程の自動化に導入されています。

セイコーエプソン / Seiko Epson

セイコーエプソンは、精密加工技術に基づく高品質なプリントソリューションで知られる世界的な企業です。同社のスカラロボットであるGXシリーズはGYROPLUS™ による低振動制御と Boost モード搭載で高速タクト（最速 0.29 秒クラス）を実現しています。納入実績のある業界は、電子部品製造、自動車部品組み立て、医療機器製造など多岐にわたります。

デンソーウェーブ / DENSO WAVE

デンソーウェーブは、QRコードやRFIDなどの自動認識機器、産業用ロボット（FA機器）などを開発・製造する企業です。同社のスカラロボットである HSRシリーズやHMシリーズは、HSRが業界最速級の 0.28秒サイクルタイムと制振制御により長時間の連続稼働でも高いタクトを維持できる一方、HMは高剛性構造と最大20kg可搬で重量物を搬送できる点が特徴です。

イグス / igus

ドイツに本社がある、高機能ポリマー製品の開発、製造、販売を行うグルーバル企業です。同社のスカラロボットは作業エリアに合わせてサイズを選択でき、互換性のある制御ハードウェアと一緒にご利用いただけます。最大可搬重量は2㎏で最大速度は25ピック/分の性能です。実験室などで信頼性の高い作業を実現することができます。

アイエイアイ / IAI

静岡県に本社を置く、小型産業用ロボットの専業メーカーです。スカラロボットは豊富なバリエーションとトップレベルの動力性能で、さまざまな工程のサイクルタイム短縮に貢献します。自動車、電機、半導体など多様な製造現場の自動化・省力化に貢献しています。

ジャノメ / JANOME

シャノメは、家庭用ミシンで培った精密技術を応用し、製造現場の自動化ニーズに応えるために開発・提供している高精度な産業用ロボットの開発、販売をしています。「JS3シリーズ」は、高剛性アームにより高速・高精度・高可搬を実現し、オリジナルの簡単ティーチングソフト採用により、設備立ち上げや稼働時の微調整も簡単に行えます。

オムロン / OMRON

オムロンは、京都に本社を置き、制御機器、電子部品、ヘルスケア、社会システムなど、幅広い分野で事業を展開しています。同社の高速高精度4軸スカラロボットは、組立、搬送、包装、工作機械加工、ネジ締めに適し、自動化に貢献しています。

川崎重工 / Kawasaki Heavy Industries

川崎重工は産業用ロボット、航空機、鉄道など幅広い分野で事業を展開する日本の総合重工業メーカーです。同社が開発した人共存型双腕スカラロボット「duAro」は、安全策なしで人ひとり分のスペースで人間と協働作業ができます。タブレットから簡単に操作ができ、キャスター付きの台車により、簡単に移動・設置が可能です。

パラレルリンクロボットのメーカー

パナソニック / Panasonic

パナソニック・ホールディングスは1935年に設立され、大阪府門真市に本社を構える画像処理とFAを融合する総合電気メーカーです。 独自の3Dビジョン・力覚センサーとの統合/電子実装機とのライン連携を強みとしています。

同社はパラレルリンクロボットとしてPLRシリーズを製造しています。 これは高い挿入精度と自動軌道補正、電子部品実装フローへシームレス接続が可能な点が強みです。

具体的には、電子部品の自動挿入やトマト収穫ロボ、SMT工程の基盤自動塗布セルなどで導入が進んでいます。

安川電機 / YASKAWA Electric

安川電機は、福岡県北九州市に本社を構える「メカトロニクス」という言葉を生んだ制御機器とサーボ技術に強みを持つメーカーです。

同社はパラレルリンクロボットとして、Motoman MPP3H／MPP3Sといったデルタ型モデルを展開しています。これらは食品用グリースを標準装備し、高速サイクル動作を実現します。

ホタテの自動供給ラインや、パウチ製品の投入システム、多列パックの包装デモなどで活用されています。

直角座標ロボットのメーカー

ティーエイチケー / THK

ティーエイチケーは、1971年設立の東京都を拠点とする、LMガイドと直動システムに強みを持つロボットメーカーです。直角座標型ロボットでは、高精度なピック＆プレース用途に対応するリニアモータ駆動機構を展開しており、力覚センサとの一体構造が特長です。

代表製品には、PPR Pick & Place Robotや、GLMリニアモータアクチュエータを用いた直角座標型ロボットが挙げられ、Z軸の1 µm分解能と力制御が一体化されている構造が特徴です。

電子部品検査ラインなど、微細位置決めが要求される現場で採用されています。

平田機工 / Hirata

平田機工は、主に自動車・半導体・フラットパネルディスプレイ（FPD）向けの生産装置と直交ロボットを手掛けるエンジニアリング企業です。大型ワーク対応に強く、高剛性設計のガントリタイプから小型機まで幅広いニーズに応えられる構成が魅力です。

製品ラインには、GR-1750ガントリロボット、CRWQシリーズ、MB-N120/150シリーズがあります。これらの製品は、高剛性・高速・省メンテを同時に実現する点が強みです。

液晶パネルやEVバッテリー製造ラインで多く採用されています。

ニデックインスツルメンツ / Nidec Instruments

ニデックインスツルメンツは精密モータ分野における先駆的メーカーであり、とくに薄板ガラスや半導体ウェハーの搬送に特化した超低振動制御技術に定評があります。

主力製品には、SR95シリーズ、SR8670シリーズ、FO-PLP専用搬送ロボットが含まれています。真空・高温環境に対応し、独自の低振動機構でガラス基板の破損リスクを低減する性能が強みです。

大型FPD工場や半導体量産ラインで24時間稼働の実績があります。

極座標ロボットのメーカー

ローツェ / Rorze

ローツェは、真空・大気を問わず同一の制御システムで動作可能な設計で、多様な製造ラインへの柔軟な対応が可能です。

代表的な極座標ロボットには、RR759L27（大気対応）およびRR481L300（真空対応）があり、いずれも高精度なポジショニング機能を有します。ステッピングモータ＋絶対値エンコーダを全軸採用し、無原点復帰で再現精度±0.05 mmを達成するなど、高精度搬送の要件に応えます。

TSMC・SMIC・長江存儲など主要ファブの300 mm前工程搬送装置にも多数搭載されており、信頼性が高いです。

平田機工 / Hirata

平田機工は、半導体製造工程に特化した高真空対応機を自社開発し、業界内でも確固たるポジションを築いています。

極座標ロボットの主力製品であるAR-Wn180CL・AR-Wn300CLは、真空環境下でのウェハ搬送を想定し、優れた高速性と清浄度を両立している点が特徴です。アーム伸縮部をカーボン複合材化しパーティクル発生を極小化、クラス1クリーンルームにそのまま投入可能な点が、信頼性と品質管理の両面で強みとなります。

このため、半導体の前工程ラインなど高い清浄性が求められる製造環境での活用が進んでいます。

タツモ / Tazmo

タツモは極座標ロボットの分野では、レールレス構造による高速搬送機構と柔軟なカスタマイズ設計を強みに持ちます。

主な極座標ロボットの製品は、300 mm/450 mm FOUP間搬送を可能にするMTE-C・MTQ-Dシリーズで、保守性と拡張性を持つ点が強みです。R-Tユニットと昇降ユニットをモジュール分割し、ストローク延長や保守交換を最短30分で可能とすることで、導入後の柔軟な運用が可能になります。

FPDや半導体の製造現場において、迅速なライン変更や保守性を求める工程で活用が進んでいます。